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    双面抛光下面台
    发布日期:[2019-4-30 8:29:55]

    设备名称:双面抛光下片台
    功能特点:1、 防止硅片从吸笔滑落
                     2、可以MES通信自动或手动设定硅片沟槽信息,设备按预设自动完成收片
                     3、作业完成后,可以MES自动通信完成作业结束并MES做账
                     4、 防止混片
                     5、防止硅片撞击,降低清洗和边抛碎片


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